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- [发明专利]一种掩模版上残胶的去除方法-CN201510094999.5在审
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马志平;成立炯;平志纲
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上海凸版光掩模有限公司
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2015-03-03
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2016-10-05
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G03F7/42
- 本发明提供一种掩模版上残胶的去除方法,所述去除方法包括步骤:1)通过加热使膜框和掩模版之间的胶体软化,然后将膜框拉离掩摸版直至完全分离,以使大部分的胶体随所述膜框脱离掩模版,仅有少部分的胶残留在掩模版上;2)提供一黏性胶球,将所述黏性胶球触碰掩模版上的残胶,使所述黏性胶球与残胶黏合后提拉所述黏性胶球,以将残胶从掩模版上剥离。本发明采用黏性胶球去除残胶,由于球形形状,所以黏性胶球在和残胶的接触过程中,可以非常容易的控制胶球和掩模版的接触面积。由于黏性胶球的构成材料和膜框上胶体的材质相同,质地非常的软,所以在接触掩模版的过程中,几乎不会对掩模版造成伤害,并且能有效地去除残胶。
- 一种模版上残胶去除方法
- [发明专利]胶水回吸装置及具有其的点胶装置-CN202010102745.4有效
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郭智;刘鲁亭
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青岛歌尔微电子研究院有限公司
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2020-02-19
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2021-12-28
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B05C5/02
- 本发明涉及点胶技术领域,具体涉及一种胶水回吸装置及具有其的点胶装置。本发明主要解决现有点胶装置在清洗残胶时操作复杂的技术问题。为此目的,本发明提供了一种胶水回吸装置,胶水回吸装置包括:吸胶针头,吸胶针头设置于点胶装置的热控组件上,且吸胶针头指向热控组件的底部出胶针头;残胶存储装置,残胶存储装置与吸胶针头连通;真空发生器,真空发生器的吸气口依次与残胶存储装置和吸胶针头连通,吸胶针头吸收的残胶流至残胶存储装置内。本发明的胶水回吸装置能够与出胶针头同步进行,从而不需要通过操作台上的真空吸嘴吸收残胶,以此减少真空吸嘴清洁残胶所浪费的时间,同时也可减少真空吸嘴清洁残胶频率不合理导致产品出现不良现象。
- 胶水装置具有
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